SAM® 1480/2480 G1

Модели серии G1 удовлетворяют требованиям полупроводниковой отрасли будущего поколения.

КОНСТРУКТИВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ

• Возможность выбора различных газов и различных диапазонов работы
• Режим работы нечувствителен к давлениям
• Функция запорного вентиля
• ЖК-дисплей (температура, давление, настройка выходных параметров) упрощает процедуры управления

ПРЕИМУЩЕСТВА

• Высокая степень нечувствительности к входному давлению
• Один регулятор массового расхода может работать с двумя и более типами газа и в нескольких диапазонах
• Потребность в специальном оборудовании ограничивается лишь несколькими моделями
• Сокращение капитальных затрат и расходов на инвентарь
• Сохранение эффективности при переходе на другой газ