AERA PI-980 SERIES
Группа: 4960Благодаря применению ведущей технологии измерения расхода, нечувствительные к давлению регуляторы массового расхода серии Aera PI-980 предвосхищают растущую потребность полупроводниковых производственных технологий следующего поколения, в т.ч. травления, CVD (химического осаждения из газовой фазы), PVD (физического осаждения из паровой фазы) и диффузии из газовой фазы.
КОНСТРУКТИВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ
- Режим работы нечувствителен к давлениям
- Высокая точность и повторяемость компонентов, встраиваемых в панель газоснабжения
- Конфигурация, сертифицированная для работы со свежим газом, с несколькими газами и в нескольких диапазонах
- Программируется в условиях эксплуатации
- DeviceNet, RS-485 или аналогичный вариант управления
- Цельнометаллические уплотнения и конструкция, обеспечивающая высокую чистоту
ПРЕИМУЩЕСТВА
- Улучшенные характеристики подачи газа и повышенная производительность
- Простота интеграции при установке
- Существенная экономия на стоимости панели газоснабжения
- Сокращение места, занимаемого панелью газоснабжения
- Управление и связь в режиме реального времени
- Сервисная и клиентская служба мирового класса